İnsanlık kimyasal silahlar ile ilk kez 1915 Ağustos'unda Almanların zehirli gazları kullanmasıyla tanıştı ve sivil halk üzerindeki yıkıcı etkileri oldu.
1925 yılında kimyasal silah üretimi yasaklandı ancak bu konuda başarılı olunamamıştır.

Kimyasal silahlar 1. Dünya Savaşında kimyasal maddelerin toksik özelliklerini kullanarak düşman üzerinde fiziki ve fizyolojik etkiler oluşturmak amacıyla gaz (aerosol veya buhar) halinde etkin bir şekilde kullanılmış ve kayda değer kayıplar verilmesine neden olmuştur. Savaş esnasında Almanlar klorin dolu kutuları esen rüzgara doğru atmak suretiyle yayılmasını sağlayarak basit bir yol uygulamıştır. Bundan kısa bir süre sonra Fransızlar fosgeni top mermileri içerisinde kullanmışlardır. 1917’de Almanlar son derece zehirli olan hardal gazını İngilizlere karşı kullanmış ve binlerce insanın ölümüne neden olmuştur. Almanlar bununla birlikte koruyucu maskeleri de etkisiz hale getirerek kusmaya neden olan katı partiküllü difenil klorasil kullanmaya çalışmıştır. 2. Dünya Savaşında ise sinir gazları geliştirilmiştir. 1936’da Alman kimyacı Gerhard Schrader mevcut haşere öldürücüleri inceleyerek tabun’u iki yıl sonra da daha toksik olan sarin’i bulmuştur. 2. Dünya Savaşı boyunca İtalyanlar, Macarlar, Japonlar, Fransızlar, İngilizler, Ruslar, Amerikalılar ve Almanlar hardal, fosgen ve benzer ajanları geliştirmeye devam etmişler ancak kullanmamışlardır.

Yakın zamanda ise Dünya tarihine "Halepçe Katliamı" olarak geçen ve Irak devlet başkanı Saddam Hüseyin'in 1988 yılının Mart'ında kullandığı kimyasal silahları kullanması ile 6000 kişinin ölmesi, tehlikeyi iyice gözler önüne sermiştir.